根據現在最常（cháng）用的矽單晶直拉法減壓拉晶工藝，真空係統一（yī）般都配（pèi）備滑閥式真空泵。但隨著大直徑、重摻雜等特殊要求的矽單晶（jīng）需求量的增加，對單晶爐設備的要求也越（yuè）來越高，采用滑閥式真空泵的缺（quē）點也日（rì）益顯現。為了提高生產效率，降低成本，也為了保（bǎo）證器件參數的一致性、可（kě）靠性，都希望直拉單晶大直徑（jìng）化，設備控（kòng）製高度自（zì）動化，從抽空到拉晶結束全部自動化控製（zhì），且穩定性、可靠性極好的大型直拉單晶設備。為了提高單晶的內在質量或（huò）者（zhě）某方麵參數的特殊要（yào）求，国产精品亚洲片夜色在线通過（guò）改（gǎi）造真空係統，將水環（huán）式真空泵應用在直拉單晶爐設備上，以提高直拉單晶爐的整體性（xìng）能。下麵跟著小編一起來了解改造好的真空係統在直拉單晶爐上（shàng）的應用有什麽變化（huà）吧。

直拉單晶爐，包括爐體，爐體包括爐座和爐腔，爐腔（qiāng）設置（zhì）在爐座上，爐體內設有加熱（rè）裝置和直拉成型裝置，加熱裝置包括石英坩堝、石墨坩堝、加熱器和石墨（mò）電極，石墨坩堝包裹在（zài）石英坩堝的外側，加熱器設置在石墨坩堝的外側，石墨電極設置（zhì）在加熱器的（de）底（dǐ）端，直拉成（chéng）型（xíng）裝置包括豎直設（shè）置的籽晶軸和坩堝軸，籽晶軸設置在石英坩堝的上方，坩堝軸設置（zhì）在石英坩堝的底部，籽晶軸的（de）上方設有與籽晶軸相連接（jiē）的籽晶軸驅（qū）動裝置，坩堝（guō）軸的底部（bù）設有坩堝軸（zhóu）驅動裝置。

滑閥泵是用（yòng）油（yóu）來保持密封的機械真空泵的，由於它的滑閥環與泵腔有一定間隙，兩者不接觸（chù），可抽含有微小（xiǎo）塵埃（āi）的氣體。在（zài）單晶正常生長過程中，滑閥泵將會帶（dài）走（zǒu）由於高溫而產生出來的矽氧（yǎng）化（huà）物和（hé）雜（zá）質揮發物，這（zhè）些（xiē）雜質大部（bù）分會進入泵腔，與真空泵油混合（hé）在一起。由（yóu）於矽單晶生（shēng）長時間比較漫長，特（tè）別是大直徑的矽單晶生長時（shí）間更（gèng）長，隨著（zhe）時間的增加，真空（kōng）泵油（yóu）裏的雜質也越積越（yuè）多，從而使真空泵油的黏稠度也越來越大，導（dǎo）致（zhì）真（zhēn）空泵負荷增大，抽速下降，嚴重的會造成真空泵不能正常工作。因此需要定期更換真空泵油，這樣做還可延長真空泵壽命。但（dàn）頻（pín）繁的更（gèng）換真空泵油，不但維護費用高而（ér）且在一個拉晶工藝過程中是無法實現的。特別是在拉（lā）重摻砷等劇毒摻雜元素的矽單晶時，有一部分砷等劇毒元素融入真（zhēn）空泵油中，使得真（zhēn）空泵的維護更加困難（nán），含有砷等劇毒摻雜元素（sù）的真空泵油處理是件（jiàn）很棘手（shǒu）的事。

針對（duì）上述的問題，改進後（hòu）的真（zhēn）空係統在直拉單晶爐上的應（yīng）用，既（jì）可以使用水環泵作為主泵，也可（kě）當旁路真空球閥關閉（bì）的時候，使用滑閥泵作為主泵，滿足不同拉晶工藝的需（xū）要。當使用水環泵作為主泵時，正常拉晶產生的矽氧化物和雜質（zhì）揮發物都被抽到了水環泵裏，溶於水環泵的水中（zhōng），水環泵的水不斷地循環更新，確保了水的清潔，使得水環泵能正常工作，不（bú）會因為拉（lā）晶（jīng）時間太長，影響（xiǎng）水環泵的工作性能，從而維持正常抽（chōu）速，保證爐膛內的真空度穩定。排出的水經過處理還可（kě）以重複使用，這樣不但維護方（fāng）便而且費用低，特別是拉重摻砷等劇毒摻雜元素的矽單晶時，砷（shēn）等劇毒摻雜元素融入水（shuǐ）中後比較容易被分離收集，減少對環境（jìng）影（yǐng）響。