進口真空泵維修廠家表示真空係統（tǒng）的日常維護十分重要，可避免在出現故障時（shí）手足無措、並能盡快排除故障使（shǐ）設備（bèi）正常運轉。東莞市国产精品亚洲片夜色在线真空科技有（yǒu）限公司通過以下內容對真空係統的（de）主要（yào）部件維護作簡單的介紹，同時，針對真空係統出現（xiàn）故障情況分析其原因以及真空泵維（wéi）修之真（zhēn）空係統故障排除的方法，也會整理出來提供給各位進行參考一下的。

真空泵維修（xiū）一：真空係統的主要部件及維護方法

1、旋轉泵：要定期檢（jiǎn）查旋轉（zhuǎn）泵的油平麵，及時補充油確保泵運轉正常。泵皮帶用久後容易打滑，可適量（liàng）加些皮帶脂或稍調節皮帶鬆緊度，可延長皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散（sàn）泵的工作性能好壞是決定電鏡獲得高真（zhēn）空的關鍵，而影響擴散泵性能的主要（yào）原因是（shì）油質的下降和油量的減少為了減少（shǎo）擴散泵油的揮發和碳化，平（píng）時儀器要定期抽真空（kōng），換樣品時（shí）盡量減少樣品室在大（dà）氣（qì）中停留的（de）時間，關機後一般要十分鍾後才停冷卻水；有條件的冷卻最（zuì）好采用循環水箱和去離子水，以減少（shǎo）水垢的形成（chéng），保持冷卻性能；擴散泵油（yóu）在正常情況下可連續使用十年。

真空（kōng）泵維修二：真空係統故障原因

（1）低真空（kōng）正常，高真空上不去。儀器在正常使用中光柵突然出現閃爍，立即關高壓後控製麵板指示燈除 POWER亮，其餘都熄滅，真空度下降。數分鍾後用控製麵板上的檢測器測真空度（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見高真空主閥啟動的聲音。查（chá）K板PD、HVAC指示燈熄滅，抽（chōu）真空（kōng）程（chéng）序不能正常進行。從故障現象看引起儀器不正常的原因是：擴散泵工作不正常；計算機真空控製部分（fèn）失控。

（2）儀器自動關機，處於保護狀態：一開機 POWER指示燈亮，機械泵（bèng）響聲（shēng）正（zhèng）常，15分鍾（zhōng）左右擴散泵（DP）指示燈（dēng）亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指示燈滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指示燈又（yòu）亮，然後儀器自動關機處（chù）於保護狀態。引起此故障的原因有下列幾種情（qíng）況：a.主電源電壓不正常；b.真空係統不正常； c.高壓電路故；d.計算機邏輯控製電路故障等。

真空泵維修三：真（zhēn）空係統故障排除（chú）方法

（1）檢（jiǎn）查發現進出口冷（lěng）卻水溫度一樣，用手輕摸擴散泵有餘熱，估計是加熱器或加熱電路有問題，測加熱電路正常，拔下加熱器插頭，測二端電（diàn）阻（zǔ）為（wéi）∞，說明擴散泵加熱器損壞，換上加熱器真（zhēn）空係統恢複正常。

（2）經檢查發（fā）現故障是擴散泵冷（lěng）卻水溫度檢測器損壞造起，更換溫度檢測器後故障排出。

要保持真空係統的良（liáng）好性能，必須保證（zhèng）係統的暢通清潔，首先，做好（hǎo）儀器的使（shǐ）用狀況（kuàng）和維護記（jì）錄，每次開機都要注意查（chá）看儀器運轉是否正常。這就是真空泵維修之真空係統故障排除最佳的方法，而且減少後續的（de）人力（lì）物力財力。隻需要在使用的（de）過程中花費一點點時間進行檢查，真空係統運行的時候（hòu）就可以有一點保障了。