東（dōng）莞市国产精品亚洲片夜色在线真空科技有（yǒu）限公司旗下的旋片真空泵以清潔無汙（wū）染，而且擁有（yǒu）較寬的抽速範圍以及良好的節能、穩定（dìng）、易維護等優勢廣泛應用於半導（dǎo）體行業，半導體工藝用真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空幹法刻蝕， 真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合（hé）工序，今天国产精品亚洲片夜色在线的技術人員來給大家普及一（yī）下（xià）旋片真空泵在半導體工藝中的應用（yòng）不可忽視的安全問題。

半導體材料可以（yǐ）分為（wéi）元素半導體和化合物（wù）半（bàn）導體兩大類，元素半導體指（zhǐ）矽、鍺單一元素形成的半導體，化合物指砷化镓、磷化銦等化合物形成的半導體。砷化镓的電子遷移速率比矽（guī）高5.7倍，非常適合用於高頻電路。

半導體（tǐ）生產製（zhì）造過程中容易（yì）產生易燃易爆以及有毒的（de）物質（zhì）氣體，會對生產及人（rén）員安全造成威脅，因（yīn）此，旋片真空泵在半導體工藝中的應用時需要注意的幾個安全事項主（zhǔ）要有以下幾點內容：

1、定期清洗旋片真空（kōng）泵及其他附件、過濾、管道，避免（miǎn）超壓；

德國旋片真空泵在半導體中應用時，抽取介質過程中經（jīng）過反應室與真空泵，其成（chéng）分可能極為複雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水（shuǐ）解會形成（chéng）HCl；假（jiǎ）設是油封式機械泵，這些（xiē）氣體物質還可能與泵（bèng）油發生化（huà）反。這些（xiē）變化（huà）假設形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真空泵或管（guǎn）路係統，影響真空泵性能，造成壓力上（shàng）升或超壓，第一點中提到的危險性也更大（dà）。所（suǒ）以需要及時的（de）清洗，並在必要的時候設置過濾設備。

2、有效（xiào）稀釋有害（hài）氣體的濃度；

半導體易（yì）產（chǎn）生前麵（miàn）所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半導體用真空泵應用過程中，在抽取這些介質時就必須（xū）防止它們在真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如（rú）SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或（huò）氧接觸的時候，會引（yǐn）起（qǐ）燃燒甚至爆炸；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫（wēn）度時也會發生燃燒。這些都取決於該物質的量以及（jí）與環境的壓力、溫度的關係。因（yīn）此半導體（tǐ）真空泵在抽取這些介質時，需要用氮氣（qì）之類的惰性氣體，在壓縮前即將這（zhè）些氣（qì）體稀釋到當時條件下（xià）的安全範圍。

3、注意氧氣的濃度；

空氣中的氧如果濃度（dù）過高也會發生燃燒及爆（bào）炸風險。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋，防止濃度（dù）過高；假設是油封機械泵可能還需要采用一些惰（duò）性的與氧相容的真空泵油，並及（jí）時更換油濾和油品。

4、防止溫度過高；

半導體在真空泵的應用中，有害氣體比較多，而無論是（shì）幹式真空（kōng）泵還（hái）是油封機械泵（bèng），泵腔（qiāng）內溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容（róng）易（yì）發生危險（xiǎn）。

以上四個方麵就是旋片真空泵在半導體工藝中的（de）應用（yòng）過程中最主（zhǔ）要的幾個（gè）安全事項，我們一定不（bú）可忽視（shì），技術人員說小問題對運轉、產量、效率和安全都有聯係，如果想要工作更加的順利，我們應該延長真空泵的（de）使用壽命，努力協調平衡，保證效率與安全。