2019-08-09
真空係統在掃描電鏡中的應用
真空係統在掃描電鏡中的應用,掃描電(diàn)鏡被廣泛的應用在半導體、實驗室等領域。掃描電鏡也是借助高真空係統(tǒng)。電鏡的高真空係統是有分子(zǐ)泵和前級泵組成,分子泵一般(bān)采用脂潤滑或磁懸浮的分子泵,前級泵是采用雙級(jí)油旋片真空泵,或無油渦旋泵作為前級(jí)泵。前級泵是輔助分子泵運行的,前(qián)級泵先將腔體抽(chōu)到10pa以後再啟(qǐ)動分子泵。分子泵啟動後再將係統抽到-3pa~-4pa左右。
掃描(miáo)電子(zǐ)顯微鏡,是自上世(shì)紀60年代作為(wéi)商用電鏡麵世以來迅速(sù)發展起來的一種新型的電子光學儀器,被廣泛地應用於(yú)化學、生物、醫學、冶金、材料(liào)、半(bàn)導體製(zhì)造、微電路檢查等各個研究領域和工(gōng)業部門。
在材料領域中,掃描電鏡技術發揮著極其重要的作用(yòng),被廣泛應用於各種材料的形態結構、界麵狀(zhuàng)況、損傷機製及材料性能預測等方麵(miàn)的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及(jí)其產生過程,可以(yǐ)觀察金屬材料(liào)內部原子的集結方式和它們的真實邊界,也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式,還可以檢(jiǎn)查(chá)晶體在表(biǎo)麵機械加工中引起(qǐ)的損傷和輻射損傷等。
真空係統在(zài)掃描電鏡中具有什麽產(chǎn)品特點呢?
應用於掃描電鏡的真空係統具有製樣簡單、放大倍數可調範圍寬、圖像的(de)分(fèn)辨率高、景深大、保(bǎo)真度高、有真實的三維效應(yīng)等特點,對於導電材料,可直接放入(rù)樣品(pǐn)室進行分析,對於(yú)導電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導電層。
真空係統主要包括真空泵和真空柱(zhù)兩部分。真空柱是一個密(mì)封的(de)柱形容器。真空泵(bèng)用來在(zài)真空柱內產生真空。有機械泵、油擴散泵以及渦輪分子泵三大類,機械(xiè)泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置(zhì)鎢燈絲槍的掃描電鏡(jìng)的真空要求,但對於裝置了場致發射(shè)槍或六硼化鑭及六硼化鈰槍的掃(sǎo)描電鏡,則需要(yào)機械泵加渦輪分子(zǐ)泵的組合。成(chéng)象係統和電子束係統均內置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的樣品室,用於放置樣品。
掃描電鏡可粗(cū)略分為鏡體和電源電路係統兩部分(fèn)。鏡體部分由電子光學係統、信號收集和顯示(shì)係統以及真空抽氣係統組成。東莞真空係統的作用是為保證電(diàn)子光學(xué)係統正常工作,防止樣品汙染,一(yī)般情況下要求(qiú)保持10-4~10-5Torr的真空度。
掃描電鏡(jìng)需要(yào)真空(kōng)的原因包括:一是電子束係統中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效,所以需要(yào)抽真空。二是(shì)為了增大電子的平均自由程,從而使得用於成象(xiàng)的電子更多。
国产精品亚洲片夜色在线真(zhēn)空係(xì)統在掃描電(diàn)鏡中的應用,能夠靠電子束掃描物(wù)體表麵來成像的。空氣的存在會使的電(diàn)子束變型,影響掃描效果,因此需要使用到真空係統抽真空。如果對国产精品亚洲片夜色在线真空係統感興趣的(de)話,都可(kě)以撥(bō)打我司的客戶熱線。
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